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ELEKTRONIK

Halbleiter-Festwertspeicher

Festwertspeicher (ROM, Read Only Memory, Nur-Lese-Speicher) sind ebenfalls Speicher mit wahlfreiem Zugriff. Im normalen Betrieb können sie nur gelesen werden, die gespeicherte Info ist nicht flüchtig - geht also beim Abschalten der Versorgungsspannung nicht verloren. Sie besitzen einen einfacheren Aufbau als Schreib-Lese-Speicher und haben daher eine hohe Integrationsdichte. Die Bausteine sind i.a. wortorganisiert (meist 8-Bit-Wort = Byte).Man unterscheidet (grob) in:
  • ROM: Informationen werden beim Herstellungsprozess eingegeben maskenprogrammiertes ROM (ROM = Read Only Memory)
  • PROM: Einmal programmierbares ROM. Die Info kann vom Anwender mittels eines Programmiergeräts eingeschrieben werden. (PROM = Programmable ROM)
  • EPROM: Vom Anwender programmierbares PROM, dessen Inhalt auch wieder gelöschtwerden kann (mit Ultraviolett-Licht außerhalb des DVS). (EPROM = Erasable PROM)
  • EEPROM: Vom Anwender programmierbares PROM, dessen Inhalt elektrisch wieder gelöscht werden kann (innerhalb des DVS). (EEPROM = Electrically Erasable PROM)
Speicherelement ist jeder Kreuzungspunkt zwischen Zeilen- und Spaltenleitung der Speichermatrix. Der jeweils gespeicherte Binärwert wird durch das Vorhandensein oder Fehlen einer leitenden Verbindung zwischen Zeilen- und Spaltenleitung bestimmt. Damit die einzelnen Zeilenleitungen entkoppelt sind, muss die Verbindung unidirektional sein.

Maskenprogrammierbares ROM

bipolar:
Integrierte Brücken bei Diodenmatrix; Spaltenleitungen über Widerstand auf Masse.

MOS:
Dicke der Gate-Oxidschicht; bei normaler Dicke kann der FET leiten ("0"), andernfalls reicht das 1-Potential auf der WL nicht aus, den FET durchzuschalten "1".

bipolares PROM (anwenderprogrammierbar)

Im unprogrammierten Zustand sind alle Kreuzungspunkte entweder leitend oder unterbrochen (Abhängig vom Herstellungsverfahren). Durch die Programmierung (= Einschreiben der Daten) wird die Verbindung (je nach Herstellungsverfahren) unterbrochen oder hergestellt der binäre Wert, der dem durch die Herstellung vorhandenen nicht entspricht, wird programmiert.

Programmierung mit Ausbrennwiderständen
Der Ausbrennwiderstand ("fusible link") liegt an der Substrat-Oberfläche; er hat die Funktion einer Schmelzsicherung (z. B. Titan-Wolfram, Chrom-Nickel, Polysilizium). Das Durchbrennen geschieht mittels eines hohen Programmierstroms, z. B. durch Adressieren der gewünschten Zelle und Anlegen einer Spannung an die Ausgänge des Bausteins. Programmierzeit ca. 1 ms/Bit.

Programmierung durch kurzgeschlossene Sperrschicht
Das Koppelelement ist ein npn-Transistor mit nicht angeschlossener Basis ("junction fuse"). Durch Anlegen einer hohen Spannung erfolgt ein Durchbruch der BE-Diode - es bleibt eine Diodenstrecke übrig (Basis an Spaltenleitung). Die Adressierung erfolgt im Baustein durch 0-Potential an den Zeilenleitungen.
Programmierzyklus (Beispiel): Chip Select auf 1-Pegel, dann 20 V an Datenausgänge anlegen und Chip Select auf 15 V (5 ms). Programmierzeit: ca. 0,2 ms Bit

NMOS-PROM

EPROM ohne Löschmöglichkeit EPROM, das nur ein einziges Mal programmiert werden kann production EPROM, one time programmable EPROM.

EPROM

Das Koppelungselement ist eine Ladung, die auf einem isolierten Gate eines FET gespeichert wird ("floating gate"). Das Speicherelement besteht i.a. aus einem n-Kanal-MOSFET mit einem 2- Lagen-Silizium-Gate (zwischen Kanal und eigentlichem Gate befindet sich noch ein isolierter Gate (FAMOS - FET: floating gate avalanche injection FET). Source und Substrat auf Masse.

unprogrammiert:
keine Ladung auf isoliertem Gate, FET leitet, 0-Potential auf SL wird durch Ausgangsverstärker invertiert ausgegeben.

programmiert:
negative Ladung auf isoliertem Gate, durch Ladungsverschiebung leitet FET nicht, 1-Potential auf SL, 0-Potential am Ausgang.

Bei der Programmierung wird über die Zeilen- und Spaltenleitung eine hohe Spannung an Gate und Drain angelegt (Auswahl der Zelle). Source und Substrat liegen auf Massepegel. Infolge des starken elektrischen Feldes erfolgt eine Injektion von Elektronen auf das isolierte Gate (Lawinendurchbruch, avalanche effect). Die Ladung bleibt auch nach dem Abschalten der Versorgungsspannung erhalten. Der Ladungsverlust beträgt schätzungsweise 30% in 10 Jahren. Die negative Ladung auf dem isolierten Gate verschiebt die Schwellenspannung des FET und verhindert ein Durchschalten.
Zur Programmierung wird eine höhere Spannung (12 - 25 V) an den Baustein (Vpp) angelegt. Die Auswahl des zu programmierenden Wortes erfolgt genauso, wie beim Lesezugriff. Die zu programmierenden Daten werden an die Ausgangspins angelegt (TTL-Pegel). Mit einem 0-Impuls von 50 ms Dauer am Programmierpin wird der Wert programmiert. Moderne EPROMS verwenden einen "intelligenten" Algorithmus: es werden solange Impulse von 1 ms Dauer gegeben, bis die Daten beim Prüflesen stimmen; danach erfolgen noch 5 - 10 weitere "Sicherheits-Impulse".

Das Löschen der Gate-Ladung erfolgt durch Bestrahlung des Chips mit UV-Licht (15 - 20 min) durch ein Fenster aus Quarzglas, wodurch die Isolierschicht ionisiert wird und so die "gespeicherten" Elektronen entweichen.

EEPROM

Das Speicherprinzip ist ähnlich wie beim EPROM (auch "floating gate"), jedoch das Programmierverfahren ist unterschiedlich. Statt des Lawinen-Durchbruchs wird der Tunneleffekt verwendet. "Poly-Poly-Silizium" - Die Elektronen "tunneln" durch eine sehr dünne Isolationsschicht aus Siliziumoxid (Fowler-Nordheim-Tunnelung). Es ist eine sehr hohe Feldstärke erforderlich, daher muss die Schicht sehr dünn sein (ca. 150 Å). Durch eine Modifizierung (gewellte Oberfläche) kann auch mit dickeren Schichten gearbeitet werden (ca. 800 Å).

unprogrammiert:
Der FET leitet (bei Auswahl über ZL); 1-Potential auf der Spaltenleitung.

programmiert:
Negative Ladung auf isoliertem Gate, durch Ladungsverschiebung leitet FET nicht, 0-Potential auf SL.

Zur Programmierung Gate (ZL) und Source (SL) auf 1-Potential legen. Drain liegt auf 0-Potential. Die Elektronen "tunneln" auf das Floating Gate. Programmierzeit: 5 - 10 ms/Byte.
Zum Löschen Gate (ZL) auf 1-Potential und Source (SL) auf 0-Potential legen. Drain liegt dann auf 0-Potential. Die Elektronen "tunneln" vom Floating Gate nach Drain und der FET leitet wieder.

EEPROMS können in eingebautem Zustand (in der Schaltung) programmiert werden, da keine zusätzliche Programmierspannung erforderlich ist. Die benötigte hohe Programmierspannung wird während des Programmierens auf dem Chip selbst erzeugt. Auch Adress- und Datenregister sind auf dem Chip integriert. Nach dem Auslösen des Programmiervorgangs (=Schreibzyklus) kann die CPU sich anderen Aufgaben widmen (manche EEPROMs haben einen speziellen READY/BUSY-Pin zur Anzeige des internen Programmiervorgangs; andere liefern beim Lesen invertierte Daten solange die Programmierung läuft).
EEPROMs verhalten sich somit wie RAMs mit einem sehr langen Schreibzyklus (5 - 10 ms), die aber die gespeicherte Info nach dem Abschalten der Versorgung behalten (Lesezyklus 150 - 450 ns). Die Zahl der Schreibzyklen ist begrenzt (10.000 - 100.000 mal). Manche EEPROMS bieten die Möglichkeit, den gesamten Chip auf einmal zu löschen ("chip erase") Flash-Speicher (Intel).

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